Датчик вакуумного насоса
Оглавление:
Вакуумметр – монометр, предназначенный для того, чтобы замерять давление газа с разной степенью разрежённости. Монометр – устройство для замера сжатия газа либо воды. Датчик вакуумного насоса полного давления и измеритель относительного – меряют сообразно полное давление газа либо разницу давления.
Вакуумметры нужны с целью сведения совокупного, абсолютного давления, что приравнивается массе частичных показателей сжатия газов. С целью замера частичного давления газа (давления определенного состава), поступающего в какой-либо технологичный газ обычно применяют масс-спектрометрические способы замера.
Механический датчик
Гидромеханический манометр. Измеряет разницу давления в плоскости воды, в U-образной трубочке.
Компрeccионный вакуумметр – вид гидростатического датчика, в коем, для повышения измеряемого спектра, рабочей жидкостью прибора заранее формируется сокращение.
Деформационно-механические вакуумметры – устройства, определенные с целью замера невысокого вакуума, правило воздействия каковых базируется в деструкции рабочего детектора (пружины либо пластинки).
Термодатчик
Термический вакуумметр – наиболее распространённый вид замера невысокого и среднего вакуума вследствие оптимальной верности и низкой цены вакуумметра. Термический вакуумметр – это устройство для замера полного давления. Влияние вакуумметра базируется на принципе перемены теплопроводимости газа при изменении давления газа. Термо-вакуумметры представлены газозависимыми приборами. На рынке, в основном, предлагаются два типа термических вакуумных измерителя: термопарный глубоковакуумный регулятор и глубоковакуумный датчик Пирани.
Пьезорезистивный вакуумный монометр
Работает с целью четкого (согласно сопоставлению с термическими) замера вакуума в спектре с 1 атм. вплоть до 1 торр, в отдельных модификациях – 0,1 торр.
Ионизационный вакуумметр
С целью замера давления в высоком вакууме более легкодоступным методом замера очень разреженного газа стал замер тока, формируемого заранее ионизованными при помощи атомов газов.
